台灣晶片英雄傳之6~攀越巔峰

3-6.攀越巔峰

台積電在克服0.13微米銅製程難關之後,建立了堅實的研發團隊,開始有能力去主導世界級的產業技術發展。 當時全球市佔率達八成的兩大日本光學微影公司,Nikon和Canon,經過多年研發,始終堅持要導入更短波長的157nm新光源。

但有識之士早已察覺這是一條死胡同,所以台積電決定另闢蹊徑,依然沿用193nm波長的舊光源,只在晶圓表面加上一層水,就讓製程技術跨越了好幾個世代,這就是著名的”浸潤式微影技術”(Immersion Lithography)。 這當中的關鍵人物林本堅博士,後來榮膺台灣中研院院士。

林博士是越南僑生,高三時來台就讀新竹中學,未加分優待就考入台大電機系,畢業後原本申請到柏克萊,但因女友在俄亥俄,遂赴美獲得俄亥俄大學電機博士,他在當時著名的IBM華生實驗室(Thomas J. Watson Research Center)任職了22年。

離開IBM數年後,被延攬至台積電,在傳奇的「研發六騎士」當中,他是學養深厚的微影大師。2015年決定退休時,原本想專心研究神學、學好鋼琴,但沒多久就被清華大學延聘,出任半導體學院院長。

另一邊,在2008年底,全球發生金融海嘯,台積電盈利大幅銳減,隔年裁退了百分之五的人力,這驚動了張忠謀董事長,讓他回到公司再次擔任台積電執行長。張忠謀回職後,全球景氣好轉,公司營運回穩,但是研發六騎士之一的梁孟松,卻早先於2009年2月,就選擇離開了台積電。

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